Поиск

Решение обратной задачи спектральной эллипсометрии для поглощающей подложки с диэлектрическим слоем

Авторы: Стаськов, Н. И. Шульга, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 535.32+35.34
Решение обратной задачи спектральной эллипсометрии для поглощающей подложки с диэлектрическим слоем
Текст
Другие авторы Шульга, А. В.
Журнал прикладной спектроскопии
2016
Т. 83, № 1. - С. 48-54