Поиск

Решение обратной задачи спектральной эллипсометрии для поглощающей подложки с диэлектрическим слоем

Авторы: Стаськов, Н. И. Шульга, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/509463954
Дата корректировки 13:50:07 22 февраля 2016 г.
Служба первич. каталог. Боровик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 535.32+35.34
Стаськов, Н. И.
Решение обратной задачи спектральной эллипсометрии для поглощающей подложки с диэлектрическим слоем
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 12 назв.
спектральная эллипсометрия
диэлектрический слой
переходный слой
поглощающая подложка
Другие авторы Шульга, А. В.
Журнал прикладной спектроскопии
2016
Т. 83, № 1. - С. 48-54
Тип документа b