Маркер записи | n 22 4500 |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/495802907 |
Дата корректировки | 12:32:55 12 февраля 2016 г. |
Кодируемые данные | 151210s2015||||by |||||||||||000|||rus|| |
Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
Код языка каталог. | rus |
rus rus |
|
Индекс УДК | 546 |
Индекс ББК | 24.1 |
070 z01710 Барабошина, А. А. |
|
Неорганические фоторезисты на основе смешанных оксидов молибдена и ванадия А. А. Барабошина [и др.] |
|
Библиография | Библиогр.: с. 71 (7 назв.) |
Аннотация | Продемонстрирована возможность использования тонких пленок смешанного молибден-ванадиевого оксида в качестве неорганического фоторезистного материала для получения высокоустойчивых рисунков-масок. |
Основная рубрика |
Химия Общая и неорганическая химия в целом |
Ключевые слова |
неорганический фоторезист смешанные оксиды молибден молибден-ванадиевый оксид ванадий фотолитография фоточувствительные системы фоторезистные пленки |
070 z02710 Свиридова, Т. В. 070 z03710 Цыбульская, Л. С. 070 z04710 Кокорин, А. И. 070 z05710 Свиридов, Д. В. |
|
z01100 Белорусский государственный университет z02700 Белорусский государственный университет z03700 Белорусский государственный университет z04700 Институт химической физики им. Н. Н. Семенова Российской академии наук z05700 Белорусский государственный университет |
|
Место и дата издания | 2015 |
Прочая информация | Т. 59, № 4. - С. 68-71 |
Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
ISSN | 0002-354X |
RU 863 |
|
Тип документа | b |
Химия |