Поиск

Неорганические фоторезисты на основе смешанных оксидов молибдена и ванадия

Авторы: Барабошина, А. А. Свиридова, Т. В. Цыбульская, Л. С. Кокорин, А. И. Свиридов, Д. В.
Краткая информация
Маркер записи n 22 4500
Контрольный номер RU/IS/BASE/495802907
Дата корректировки 12:32:55 12 февраля 2016 г.
Кодируемые данные 151210s2015||||by |||||||||||000|||rus||
Служба первич. каталог. Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета
БелАР
Код языка каталог. rus
rus
rus
Индекс УДК 546
Индекс ББК 24.1
070
z01710
Барабошина, А. А.
Неорганические фоторезисты на основе смешанных оксидов молибдена и ванадия
А. А. Барабошина [и др.]
Библиография Библиогр.: с. 71 (7 назв.)
Аннотация Продемонстрирована возможность использования тонких пленок смешанного молибден-ванадиевого оксида в качестве неорганического фоторезистного материала для получения высокоустойчивых рисунков-масок.
Основная рубрика Химия
Общая и неорганическая химия в целом
Ключевые слова неорганический фоторезист
смешанные оксиды
молибден
молибден-ванадиевый оксид
ванадий
фотолитография
фоточувствительные системы
фоторезистные пленки
070
z02710
Свиридова, Т. В.
070
z03710
Цыбульская, Л. С.
070
z04710
Кокорин, А. И.
070
z05710
Свиридов, Д. В.
z01100
Белорусский государственный университет
z02700
Белорусский государственный университет
z03700
Белорусский государственный университет
z04700
Институт химической физики им. Н. Н. Семенова Российской академии наук
z05700
Белорусский государственный университет
Место и дата издания 2015
Прочая информация Т. 59, № 4. - С. 68-71
Название источника Доклады Национальной академии наук Беларуси
ISSN 0002-354X
RU
863
Тип документа b
Химия