| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/507642590 |
| Дата корректировки | 13:40:56 28 мая 2025 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Каталогизатор | Боровик |
| Индекс УДК | 621.315.592:546.28.28 |
| Орлов, Л. К. | |
|
Кинетика поверхностного пиролиза смеси газов силан-герман в условиях эпитаксиального наращивания слоев твердых растворов Si[1-x]Ge[x] Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 31 назв. |
|
кремний германий твердые растворы вакуумная химическая эпитаксия силан герман десорбция водорода кинетика распада термическая активация |
|
| Ивин, С. В. | |
|
Журнал общей химии 2015 № 12. - С. 1951-1965 |
|
| Тип документа | b |
