Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Кинетика поверхностного пиролиза смеси газов силан-герман в условиях эпитаксиального наращивания слоев твердых растворов Si[1-x]Ge[x]
Поиск

Кинетика поверхностного пиролиза смеси газов силан-герман в условиях эпитаксиального наращивания слоев твердых растворов Si[1-x]Ge[x]

Авторы: Орлов, Л. К. Ивин, С. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592:546.28.28
Кинетика поверхностного пиролиза смеси газов силан-герман в условиях эпитаксиального наращивания слоев твердых растворов Si[1-x]Ge[x]
Текст
Журнал общей химии
2015
№ 12. - С. 1951-1965