Поиск

Термодинамический анализ химического газофазного осаждения Ta восстановлением галогенидов тантала кадмием и цинком

Авторы: Гончаров, О. Ю. Файзуллин, Р. Р. Гуськов, В. Н. Балдаев, Л. Х.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/488973121
Дата корректировки 22:28:09 13 октября 2015 г.
Служба первич. каталог. Боровик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.793
Гончаров, О. Ю.
Термодинамический анализ химического газофазного осаждения Ta восстановлением галогенидов тантала кадмием и цинком
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 13 назв.
термодинамический анализ
газофазное восстановление
галогениды тантала
кадмий
цинк
хлориды
бромиды
иодиды тантала
Файзуллин, Р. Р.
Гуськов, В. Н.
Балдаев, Л. Х.
Неорганические материалы
2015
Т. 51, № 6. - С. 655-659
Тип документа b