Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Термодинамический анализ химического газофазного осаждения Ta восстановлением галогенидов тантала кадмием и цинком
Поиск

Термодинамический анализ химического газофазного осаждения Ta восстановлением галогенидов тантала кадмием и цинком

Авторы: Гончаров, О. Ю. Файзуллин, Р. Р. Гуськов, В. Н. Балдаев, Л. Х.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793
Термодинамический анализ химического газофазного осаждения Ta восстановлением галогенидов тантала кадмием и цинком
Текст
Неорганические материалы
2015
Т. 51, № 6. - С. 655-659