Поиск

Влияние температуры и атмосферы отжига на фотолюминесценцию нестехиометрических пленок нитрида кремния в видимой области спектра

Авторы: Власукова, Л. А. Комаров, Ф. Ф. Пархоменко, И. Н. Мильчанин, О. В. Моховиков, М. А. Мудрый, А. В. Zuk, J. Kopycinski, P. Тогамбаева, А. К.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/487085637
Дата корректировки 22:25:05 13 октября 2015 г.
Служба первич. каталог. Рабчинская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 535.37:628.9.037
Власукова, Л. А.
Влияние температуры и атмосферы отжига на фотолюминесценцию нестехиометрических пленок нитрида кремния в видимой области спектра
Текст
Библиография Библиогр.: 26 назв.
нитрид кремния
плазмохимическое осаждение
фотолюминесценция
отжиг
Комаров, Ф. Ф.
Пархоменко, И. Н.
Мильчанин, О. В.
Моховиков, М. А.
Мудрый, А. В.
Zuk, J.
Kopycinski, P.
Тогамбаева, А. К.
Журнал прикладной спектроскопии
2015
Т.82, № 3. - С. 375-379
Тип документа b