Поиск

Влияние температуры и атмосферы отжига на фотолюминесценцию нестехиометрических пленок нитрида кремния в видимой области спектра

Авторы: Власукова, Л. А. Комаров, Ф. Ф. Пархоменко, И. Н. Мильчанин, О. В. Моховиков, М. А. Мудрый, А. В. Zuk, J. Kopycinski, P. Тогамбаева, А. К.
Подробная информация
Индекс УДК 535.37:628.9.037
Влияние температуры и атмосферы отжига на фотолюминесценцию нестехиометрических пленок нитрида кремния в видимой области спектра
Текст
Журнал прикладной спектроскопии
2015
Т.82, № 3. - С. 375-379