| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/474647958 |
| Дата корректировки | 22:07:23 13 октября 2015 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 661.68:532.54:533.92:536.24 |
| Корнев, Р. А. | |
|
Газодинамические и тепловые процессы при синтезе трихлорсилана водородным восстановлением тетрахлорида кремния в ВЧ разряде Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв |
|
синтез трихлорсилана тетрахлорид кремния плазмохимический синтез газодинамические процессы тепловые процессы |
|
|
Шапошников, В. А. Кутьин, А. М. |
|
|
Журнал прикладной химии 2014 Т. 87, № 9. - С. 1250-1254 |
|
| Тип документа | b |
