Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Газодинамические и тепловые процессы при синтезе трихлорсилана водородным восстановлением тетрахлорида кремния в ВЧ разряде
Поиск

Газодинамические и тепловые процессы при синтезе трихлорсилана водородным восстановлением тетрахлорида кремния в ВЧ разряде

Авторы: Корнев, Р. А. Шапошников, В. А. Кутьин, А. М.
Подробная информация
Индекс УДК 661.68:532.54:533.92:536.24
Газодинамические и тепловые процессы при синтезе трихлорсилана водородным восстановлением тетрахлорида кремния в ВЧ разряде
Текст
Журнал прикладной химии
2014
Т. 87, № 9. - С. 1250-1254