| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/472650333 |
| Дата корректировки | 22:05:06 13 октября 2015 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793.7:546.82.03/.04 |
| Зайцев, С. В. | |
|
Рост и микроструктура пленок AlN, формируемых методом квадрупольного магнетотронного напыления Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
|
реактивное магнетронное распыление нитрид алюминия рентгеновская дифракция сканирующие электронные микроскопы |
|
|
Ващилин, В. С. Прохоренков, Д. С. Нарцев, В. М. Евтушенко, Е. И. |
|
|
Огнеупоры и техническая керамика 2014 № 10. - С. 13-16 |
|
| Тип документа | b |
