Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Рост и микроструктура пленок AlN, формируемых методом квадрупольного магнетотронного напыления
Поиск

Рост и микроструктура пленок AlN, формируемых методом квадрупольного магнетотронного напыления

Авторы: Зайцев, С. В. Ващилин, В. С. Прохоренков, Д. С. Нарцев, В. М. Евтушенко, Е. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793.7:546.82.03/.04
Рост и микроструктура пленок AlN, формируемых методом квадрупольного магнетотронного напыления
Текст
Огнеупоры и техническая керамика
2014
№ 10. - С. 13-16