| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/468082318 |
| Дата корректировки | 21:58:46 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 537.525 |
| Дунаев, А. В. | |
|
Взаимодействие плазмы смесей хлороводород - аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 13 назв. |
|
плазма травление хлористый водород аргон хлор водород |
|
|
Пивоваренок, С. А. Мурин, Д. Б. |
|
|
Химия и химическая технология. Изв. вузов 2014 Т. 57, № 8. - С. 44-47 |
|
| Тип документа | b |
