| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/467387512 |
| Дата корректировки | 21:57:26 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793.7:546.82.03/.04 |
| Зайцев, С. В. | |
|
Синтез пленок AlN с использованием вакуум-плазменных технологий Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
|
нитрид алюминия магнетронное распыление рентгеновская дифрактометрия морфология поверхности |
|
|
Ващилин, С. В. Прохоренко, Д. С. Нарцев, В. М. Евтушенко, Е. И. |
|
|
Огнеупоры и техническая керамика 2014 № 7-8. - С. 15-18 |
|
| Тип документа | b |
