Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Синтез пленок AlN с использованием вакуум-плазменных технологий
Поиск

Синтез пленок AlN с использованием вакуум-плазменных технологий

Авторы: Зайцев, С. В. Ващилин, С. В. Прохоренко, Д. С. Нарцев, В. М. Евтушенко, Е. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793.7:546.82.03/.04
Синтез пленок AlN с использованием вакуум-плазменных технологий
Текст
Огнеупоры и техническая керамика
2014
№ 7-8. - С. 15-18