| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/465300524 |
| Дата корректировки | 21:50:00 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 547.493 |
| Автор | Васильев, В. Ю. |
| Заглавие | Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы |
| Физич. носитель | Текст |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 120 назв. |
| Ключевые слова | химическое осаждение |
|
рутенийсодержащие тонкие пленки рутений слои рутения рутенийсодержащие материалы |
|
| Другие авторы | Морозова, Н. Б. |
| Игуменов, И. К. | |
| Название источника | Успехи химии |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | Т. 83, № 8. - С. 758-782 |
| Тип документа | b |
