| Индекс УДК | 547.493 |
| Автор | Васильев, В. Ю. |
| Заглавие | Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | химическое осаждение |
| Другие авторы | Морозова, Н. Б. |
| Название источника | Успехи химии |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | Т. 83, № 8. - С. 758-782 |
