Поиск

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза

Авторы: Сорокин, Б. П. Квашнин, Г. М. Бормашов, В. С. Волков, А. П. Теличко, А. В. Гордеев, Г. И. Голованов, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/223449729
Дата корректировки 21:46:29 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.382
Сорокин, Б. П.
Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 7 назв.
пьезоэлектрическая пленка AlN
синтетический монокристалл алмаза
магнетронное напыление
Квашнин, Г. М.
Бормашов, В. С.
Волков, А. П.
Теличко, А. В.
Гордеев, Г. И.
Голованов, А. В.
Химия и химическая технология. Изв. вузов
2014
Т. 57, № 5. - С. 17-21
Тип документа b