Поиск

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза

Авторы: Сорокин, Б. П. Квашнин, Г. М. Бормашов, В. С. Волков, А. П. Теличко, А. В. Гордеев, Г. И. Голованов, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.382
Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза
Текст
Химия и химическая технология. Изв. вузов
2014
Т. 57, № 5. - С. 17-21