Индекс УДК | 621.382 |
Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AlN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза Текст |
|
Химия и химическая технология. Изв. вузов 2014 Т. 57, № 5. - С. 17-21 |