Поиск

Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки

Авторы: Канаев, А. А. Городецкий, А. Е.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/457437693
Дата корректировки 21:40:21 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 541.68:539.8:666.1.053.5
Канаев, А. А.
Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 2 назв.
кремний
полировка
эффект Ребиндера
Другие авторы Городецкий, А. Е.
Стекло и керамика
2014
№ 5. - С. 29-32
Тип документа b