Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки
Поиск

Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки

Авторы: Канаев, А. А. Городецкий, А. Е.
Подробная информация
Индекс УДК 541.68:539.8:666.1.053.5
Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки
Текст
Другие авторы Городецкий, А. Е.
Стекло и керамика
2014
№ 5. - С. 29-32