| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/446550115 |
| Дата корректировки | 21:32:26 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592:546.28.286 |
| Орлов, Л. К. | |
|
Особенности распада молекул моносилана и дисилана на поверхности кремния в условиях эпитаксиального роста Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 27 назв. |
|
распад молекул дисилан кремний эпитаксиальный рост |
|
|
Ивина, Н. Л. Смыслова, Т. Н. |
|
|
Журнал общей химии 2013 Т. 83, № 12. - С. 1952-1963 |
|
| Тип документа | b |
