Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Особенности распада молекул моносилана и дисилана на поверхности кремния в условиях эпитаксиального роста
Поиск

Особенности распада молекул моносилана и дисилана на поверхности кремния в условиях эпитаксиального роста

Авторы: Орлов, Л. К. Ивина, Н. Л. Смыслова, Т. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592:546.28.286
Особенности распада молекул моносилана и дисилана на поверхности кремния в условиях эпитаксиального роста
Текст
Журнал общей химии
2013
Т. 83, № 12. - С. 1952-1963