Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], Cl[2] и HBr+Ar
Ефремов, А. М., Kwon, K.-H., Шабадарова, Д. А.
Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], Cl[2] и HBr+Ar, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Известия вузов , 2016, Т. 59, Вып. 10. - С. 11-18
