Влияние температуры и атмосферы отжига на фотолюминесценцию нестехиометрических пленок нитрида кремния в видимой области спектра
Власукова, Л. А., Комаров, Ф. Ф., Пархоменко, И. Н., Мильчанин, О. В., Моховиков, М. А., Мудрый, А. В., Zuk, J., Kopycinski, P., Тогамбаева, А. К.
Влияние температуры и атмосферы отжига на фотолюминесценцию нестехиометрических пленок нитрида кремния в видимой области спектра, [Текст]
Журнал прикладной спектроскопии, 2015, Т.82, № 3. - С. 375-379
