Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге
Садовский, П. К., Челядинский, А. Р., Оджаев, В. Б., Углов, В. В., Гайдук, П. И., Прокопьев, С. Л., Шейников, Д. П.
Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге, [Текст]
ил.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2015, № 1. - С. 55-59
