Особенности легирования сурьмой в процессе ионно-лучевой кристаллизации кремния
Пащенко, А. С., Чеботарёв, С. Н., Чеботарев, С. Н., Лунин, Л. С., Ирха, В. А.
Особенности легирования сурьмой в процессе ионно-лучевой кристаллизации кремния, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 4. - С. 553-556
Пащенко_особенности