Влияние режимов импульсного лазерного отжига на оптические свойства кремния, гипердопированного селеном
Комаров, Ф. Ф., Пархоменко, И. Н., Мильчанин, О. В., Ивлев, Г. Д., Власукова, Л. А., Жук, Ю., Цивако, А. А., Ковальчук, Н. С.
Влияние режимов импульсного лазерного отжига на оптические свойства кремния, гипердопированного селеном, Ф. Ф. Комаров, И. Н. Пархоменко, О. В. Мильчанин [и др.]
граф., табл.
// Оптика и спектроскопия .-
2021 .-
Т. 129, вып. 8. - С. 1037-1047 .-