Лазерный отжиг тонких пленок ITO на гибких органических подложках
Паршина, Л. С., Новодворский, О. А., Храмова, О. Д., Лотин, А. А., Хоменко, М. Д., Щур, П. А.
Лазерный отжиг тонких пленок ITO на гибких органических подложках, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2019, Т. 53, вып. 2. - С. 169-173
Паршина_лазерный