Техника электрохимического вольт-фарадного профилирования сильно легированных структур с резким профилем распределения примеси
Фролов, Д. С., Яковлев, Г. Е., Зубков, В. И.
Техника электрохимического вольт-фарадного профилирования сильно легированных структур с резким профилем распределения примеси, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2019, Т. 53, вып. 2. - С. 281-286
Фролов_техника