Текстура пленок боридов, нитридов и силицидов переходных металлов, полученных методами ионного осаждения
Игнатенко, П. И., Гончаров, А. А., Терпий, Д. Н.
[Текст]ура пленок боридов, нитридов и силицидов переходных металлов, полученных методами ионного осаждения, [Текст]
Ил.3