-
Регулирование структурно-размерных характеристик частиц дисульфида вольфрама в процессе аэрозольного химического осаждения из газовой фазы
Александров, С. Е., Филатов, К. Д., Спешилова, А. Б., Тюриков, К. С., Андреева, В. Д., Кириленко, Д. А.
Регулирование структурно-размерных характеристик частиц дисульфида вольфрама в процессе аэрозольного химического осаждения из газовой фазы, [Текст]
ил.
Журнал прикладной химии, 2016, Т. 89, Вып. 12. - С. 1534-1540
-
Плазмохимическое травление фоторезистивных слоев на основе нафтохинондиазидов в установке с удаленной кислородной плазмоой
Спешилова, А. Б., Соловьев, Ю. В., Александров, С. Е.
Плазмохимическое травление фоторезистивных слоев на основе нафтохинондиазидов в установке с удаленной кислородной плазмоой, [Текст]
ил.
Журнал прикладной химии, 2016, Т. 89, Вып.8. - С. 1071-1076
-
Влияние условий аэрозольного осаждения из газовой фазы на характеристики получаемых частиц MoS[2]
Александров, С. Е., Филатов, К. Д., Спешилова, А. Б., Тюриков, К. С., Андреева, В. Д.
Влияние условий аэрозольного осаждения из газовой фазы на характеристики получаемых частиц MoS[2], [Текст]
ил.
Журнал прикладной химии, 2016, Т. 89, Вып. 10. - С. 1274-1278
