Особенности распада молекул моносилана и дисилана на поверхности кремния в условиях эпитаксиального роста
Орлов, Л. К., Ивина, Н. Л., Смыслова, Т. Н.
Особенности распада молекул моносилана и дисилана на поверхности кремния в условиях эпитаксиального роста, [Текст]
ил.
Журнал общей химии, 2013, Т. 83, № 12. - С. 1952-1963
