Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин
Прохоров, Л. Г., Светаев, А. В., Лунин, Б. С., Запотылько, Н. Р., Катков, А. А., Митрофанов, В. П.
Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 1. - С. 74-78
Прохоров_температурная
