Влияние температуры отжига порошка диоксида кремния на алюминий-индуцированную кристаллизацию поликристаллического кремния
Павленко, В. И., Городов, А. И., Черкашина, Н. И., Рыжих, Д. А., Ручий, А. Ю.
Влияние температуры отжига порошка диоксида кремния на алюминий-индуцированную кристаллизацию поликристаллического кремния, В. И. Павленко, А. И. Городов, Н. И. Черкашина [и др.]
5 рис., 2 табл.
// Журнал прикладной химии .-
2023 .-
Т. 96, вып. 9. - С. 754-762 .-
