| Индекс УДК | 543.62 |
|
Влияние температуры отжига порошка диоксида кремния на алюминий-индуцированную кристаллизацию поликристаллического кремния В. И. Павленко, А. И. Городов, Н. И. Черкашина [и др.] |
|
| Аннотация | Методами рентгеновской дифракции, ИК-Фурье-спектроскопии, лазерной гранулометрии исследованы фазовый состав, строение, размер частиц и агломератов, образующихся при отжиге порошка, полученного из гидрофобизирующей кремнийорганической жидкости в присутствии алюминиевой пудры (5-10 мас%). Обнаружено, что изменение температуры отжига (от 550 до 700°С) влияет на средний размер индивидуальных частиц, а содержание алюминиевой добавки влияет на размер агломератов. Увеличение температуры термообработки способствует уменьшению среднего диаметра одиночных частиц. Наибольшим размером агломератов характеризуются образцы, содержащие 10% алюминиевой пудры. В свою очередь образование поликристаллической фазы кремния из аморфной кремнеземсодержащей порошкообразной системы в области температур твердофазовых реакций зависит от размеров частиц и агломератов. Показано, что для образования поликристаллического кремния из образцов, содержащих более крупные агломераты, необходимо повышение температурного режима отжига при одинаковой длительности проведения процесса. Минимальная температура отжига для начала формирования поликристаллического кремния составила 550°С, необходимое количество алюминиевой пудры - 5%. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 96, вып. 9. - С. 754-762 |
