Исследование тонких покрытий в системе Si-B-C-(N), полученных с помощью ионного распыления мишени SiBC
Кирюханцев-Корнеев, Ф. В., Шевейко, А. Н., Лемешева, М., Рупасов, С. И., Левашов, Е. А.
Исследование тонких покрытий в системе Si-B-C-(N), полученных с помощью ионного распыления мишени SiBC, [[Текст]], Ф. К. Кирюханцев-Корнеев [и др.]
// Физикохимия поверхности и защита материалов .-
2017 .-
Т. 53, № 5. - С. 525-531 .-
