Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al[2]O[3], нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
Попов, В. П., Ильницкий, М. А., Жанаев, Э. Д., Мяконьких, А. В., Руденко, К. В., Глухов, А. В.
Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al[2]O[3], нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения, [Электронный ресурс]
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 5. - С. 643-6649 .-
Попов_биосенсорные
