Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al[2]O[3], нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
Поиск

Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al[2]O[3], нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения

Авторы: Попов, В. П. Ильницкий, М. А. Жанаев, Э. Д. Мяконьких, А. В. Руденко, К. В. Глухов, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al[2]O[3], нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
Электронный ресурс
Ключевые слова нанопроволочные транзисторы
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 5. - С. 643-6649
Имя макрообъекта Попов_биосенсорные