Комплекс для локальной ионной имплантации и элементного микроанализа с выводом ионного пучка в атмосферу
Комаров, Ф. Ф., Камышан, А. С., Пилько, В. В. , Шекунов, А. А., Романовская, О. Ф., Урьев, Г. А.
Комплекс для локальной ионной имплантации и элементного микроанализа с выводом ионного пучка в атмосферу, Ф. Ф. Комаров [и др.]
4 ил.
2016 .-
Т. 60, № 5. - С. 71-75 .-
// Доклады Национальной академии наук Беларуси .-
