| Индекс УДК | 535.37 |
|
Комплекс для локальной ионной имплантации и элементного микроанализа с выводом ионного пучка в атмосферу Ф. Ф. Комаров [и др.] |
|
| Аннотация | Комплекс по выводу ионного пучка ускорителя в атмосферу и измерению энергетических спектров ионноиндуцированного характеристического рентгеновского излучения, используемый для локального элементного анализа. |
| Ключевые слова |
ускорители заряженных частиц неразрушающий контроль элементный микроанализ ионная имплантация ионные пучки атмосфера измерительные приборы измерительные комплексы характеристическое рентгеновское излучение спектрометры ускорители ионов |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 60, № 5. - С. 71-75 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
