Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии
Дунаев, А. В., Пивоварёнок, С. А. , Мурин, Д. Б., Пивоваренок, С. А.
Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 2. - С. 167-170
Дунаев_исследование
