Формирование структур графит/SiC методом термического разложения карбида кремния
Мынбаева, М. Г., Лаврентьев, А. А., Мынбаев, К. Д.
Формирование структур графит/SiC методом термического разложения карбида кремния, [Электронный ресурс]
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 1. - С. 138-142
Мынбаева_формирование
