Формирование кристаллических слоев Cu[2]O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация
Агекян, В. Ф., Борисов, Е. В., Гудовских, А. С., Кудряшов, Д. А., Монастыренко, А. О., Серов, А. Ю., Философов, Н. Г.
Формирование кристаллических слоев Cu[2]O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 3. - С. 147-153
Агекян_формирование
