Оценка стойкости к диффузионной деструкции наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур методом ИК-спектральной эллипсометрии
Макеев, М. О. , Иванов, Ю. А., Мешков, С. А.
Оценка стойкости к диффузионной деструкции наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур методом ИК-спектральной эллипсометрии, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 1. - С. 83-88
Макеев_оценка
