Исследование корреляционных свойств структуры поверхности пленок nc-Si/a-Si : H с различной долей кристаллической фазы
Алпатов, А. В., Вихров, С. П., Казанский, А. Г., Лясковский, В. Л., Рыбин, Н. Б., Рыбина, Н. В., Форш, П. А.
Исследование корреляционных свойств структуры поверхности пленок nc-Si/a-Si : H с различной долей кристаллической фазы, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 5. - С. 600-606 .-
Алпатов_исследование
