Формирование преципитатов в Si, имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}O{+}
Привезенцев, В. В., Kириленко, Е. П., Горячев, А. В., Лютцау, А. В.
Формирование преципитатов в Si, имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}O{+}, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 8. - С. 827-835
Привезенцев_формирование
