Индекс УДК | 621.315.592 |
Формирование преципитатов в Si, имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}O{+} Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | преципитаты в Si |
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 8. - С. 827-835 |
|
Имя макрообъекта | Привезенцев_формирование |