Поиск

Формирование преципитатов в Si, имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}O{+}

Авторы: Привезенцев, В. В. Kириленко, Е. П. Горячев, А. В. Лютцау, А. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Формирование преципитатов в Si, имплантированном ионами {64}Zn{+} и {16}O{+}
Электронный ресурс
Ключевые слова преципитаты в Si
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 8. - С. 827-835
Имя макрообъекта Привезенцев_формирование