Селективный эпитаксиальный рост III-N-структур с использованием ионной нанолитографии
Лундин, В. В., Цацульников, A. Ф., Родин, С. Н., Сахаров, А. В., Усов, С. О., Митрофанов, М. И., Левицкий, Я. В., Евтихиев, В. П.
Селективный эпитаксиальный рост III-N-структур с использованием ионной нанолитографии, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 10. - С. 1237-1243
Лундин_селективный